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CL-SYPZ01椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节,自动测量薄膜厚度和折射 率,精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器软件具有生成表、查表以及精确计算等功能,方便用户使用。 基本配置 1、CL-SYPZ01椭圆偏振测厚仪主机 2、电控箱 3、二氧化硅膜样片 4、专用软件 *需另配计算机及打印机
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CL-SYPZ01椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节,自动测量薄膜厚度和折射 率,精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器软件具有生成表、查表以及精确计算等功能,方便用户使用。 基本配置 1、CL-SYPZ01椭圆偏振测厚仪主机 2、电控箱 3、二氧化硅膜样片 4、专用软件 *需另配计算机及打印机
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